Poliermittel

Die einzig bekannte Methode zum Feinpolieren von Wafern aus der Chip-Produktion ist das CMP-Verfahren (Chemisch-mechanisches Polieren). Dazu werden Poliermittelsuspensionen verwendet, die sowohl chemisch auf die zu polierenden Schichten wirken, als auch mechanisch abrasiv auf der Oberfläche der Wafer zum Abtragen des Materials beitragen.

Die Partikelgrößenverteilung dieser Suspensionen muss exakt definiert sein, um die geeigneten Fließeigenschaften im Prozess zu erhalten. Wichtig ist vor allem, dass jegliches Überkorn vermieden wird, um Defekte durch Kratzer zu vermeiden. CMP-Slurries auf Basis von Aluminiumoxid oder Siliziumdioxid (SiO2) werden in Zeta®-Mühlen großtechnisch hergestellt.


Nassmahlen

Produkte & Lösungen aus dem Bereich Nassmahlen
Nanomühle Zeta® RS

Speziell für die Zerkleinerung und Dispergierung im Nanometerbereich konzipiert, vereint diese Neuentwicklung bei einfachstem Handling revolutionäre Maschinentechnik mit ergonomischem Design.

NETZSCH Alpha® - Die nächste Generation der Rührwerkskugelmühle

Die NETZSCH-Feinmahltechnik GmbH hat jetzt eine neue modulare Maschinenplattform Alpha® entwickelt, die gegenüber älteren Maschinengenerationen so konzipiert ist, dass entsprechend einer definierten Antriebsleistung verschiedene Mahlsysteme auf einen Grundständer aufgebaut werden können.

Zirkulationsmühle System Typ Zeta®

Das Zirkulationsmahlsystem für jeden Einsatzfall: Für jede Viskosität und nahezu sämtliche Produkte geeignet, erzielt es mit unterschiedlichsten Mahlkörpern ab 90 µm bis 3 mm Durchmesser höchste Produktqualitäten und Feinheiten bis in den Nanometerbereich.

Laborrührwerkskugelmühle LabStar

Die multifunktionale Labormühle LabStar ermöglicht wissenschaftlich akademisches Arbeiten selbst bei schwierigsten Forschungs- und Entwicklungsaufgaben und besticht dabei durch einfachste Handhabung. Die Labormühle LabStar ist das kleinste Mahlaggregat der NETZSCH-Feinmahltechnik, das einen genauen Scale-up auf die vergleichbaren Produktionsmaschinen ermöglicht.

Laborrührwerkskugelmühle MiniZeta

Die universell einsetzbare Labor-Zirkulationsmühle MiniZeta hält den Kopf frei für das Wesentliche: Forschen und Entwickeln. Bei einfacher Bedienung, ausgerüstet mit leicht zu reinigenden Werkzeugen aus Edelstahl, erzielt sie hervorragende Ergebnisse bis in den Sub-Mikron-Bereich.

MiniSeries / MicroSeries- Labormühlen für die Produktentwicklung und Kleinstmengenproduktion

Die kompakten, universell einsetzbaren Labor-Zirkulationsmühlen der MiniSerie bestechen durch einfachstes Handling bei der Verarbeitung von Kleinstmengen von 0,25 bis 0,5 l bis zu Partikelgrößen im Nanometerbereich. So ist es innerhalb kürzester Zeit möglich, viele Versuche mit geringsten Produktverlusten und aussagekräftigen Ergebnissen durchzuführen.

 

Nassmahltechnologie vom Feinsten – die Labormühlen der MicroSerie sind Ihre Investition in die Zukunft für neue Produktentwicklungen aus verschiedensten Anwendungsbereichen von pigmentierten InkJet-Tinten, technischen Keramiken über kosmetische und pharmazeutische Applikationen bis hin zu nanoskaligen High-Tech-Produkten.


Trockenmahlen

Produkte & Lösungen aus dem Bereich Trockenmahlen
Dampfstrahlmühle s-Jet®

Eine weitere konsequente Entwicklung der Luftstrahlvermahlung stellt unsere neueste Innovation mit dem s-Jet® System (Patent angemeldet) dar. Nun lassen sich auch Endfeinheiten im Submikronbereich (z.B. d50 0,2 µm) mit Fließbettstrahlmühlen darstellen. Entgegen konventioneller trockener Mahlverfahren mit Fließbettstrahlmühlen wird beim s-Jet® System überhitzter Wasserdampf als Mahlgas verwandt.

Labor-Dampfstrahlmühle s-Jet® 25

Eine weitere konsequente Entwicklung der Luftstrahlvermahlung stellt unsere neueste Innovation mit dem s-Jet® System (Patent angemeldet) dar. Nun lassen sich auch Endfeinheiten im Submikronbereich (z.B. d50 0,2 µm) mit Fließbettstrahlmühlen darstellen. Entgegen konventioneller trockener Mahlverfahren mit Fließbettstrahlmühlen wird beim s-Jet® System überhitzter Wasserdampf als Mahlgas verwandt.


NETZSCH-Beads®

Produkte & Lösungen aus dem Bereich NETZSCH-Beads®
ZetaBeads® Plus

Yttrium stabilisierte Zirkonoxidmahlkörper (High-End Qualität)

ZetaBeads® Nano

Yttrium stabilisierte Zirkonoxidmahlkörper (High-End Qualität) für Nanoanwendungen