Procédé CMP

La seule méthode connue pour polir finement les disques silicium pour la production de microprocesseurs est le procédé CMP (Chemical Mechanical Polishing) – Polissage mécanique chimique. Dans ce procédé, les suspensions d’agent de polissage sont utilisées pour usiner la matière. Ces suspensions ont un effet chimique sur la couche à polir ainsi qu’un effet mécanique et abrasif sur la surface du disque silicium.

La répartition granulométrique de ces suspensions doit être précisément définie afin d’obtenir la fluidité nécessaire pour le procédé.

Ce qui est primordial, est d’éliminer toutes les particules grossières de tout type, afin d’éviter les défauts causés par des rayures. Les slurries CMP basés sur l’alumine ou la silice (SiO2) sont fabriqués sur une échelle industrielle avec les broyeurs Zeta®.


Broyage humide

Produits & Solutions dans le domaine du Broyage humide
Broyeur nano Zeta® RS

Spécialement conçu pour le broyage et la dispersion nanométriques. Ce nouveau développement combine une utilisation facile et une technologie de machine révolutionnaire avec une conception ergonomique.

The next Generation of Agitator Bead Mills

NETZSCH-Feinmahltechnik GmbH has now developed the new Alpha® modular machine platform. Compared to earlier-generation machines, this series is designed such that different grinding systems can be mounted on the same base platform as appropriate for a defined drive capacity.

Broyeur à circulation système Zeta® Type LMZ

Le système de broyage à circulation prévu pour tous les domaines d’applications. Il convient pour toutes les viscosités et presque touts les produits obtenus avec des billes de broyage allant de 90 µm à 3 mm. Il offre les plus hautes qualités de production et finesses allant jusqu’à l‘échelle nanométrique.

Broyeur agitateur à billes de laboratoire LabStar

Le broyeur multifonctionnel LabStar facilite les travaux scientifiques académiques, même les tâches de recherche et développement les plus difficiles et impressionne par sa facilité de fonctionnement. Le broyeur de laboratoire LabStar est la plus petite unité de broyage de NETZSCH-Feinmahltechnik qui permet une extrapolation exacte vers les machines de production.

Broyeur agitateur à billes de laboratoire MiniZeta

Le broyeur de laboratoire à circulation MiniZeta est un appareil pour toute application. Simple à fonctionner et équipé d'outils en acier inox faciles à nettoyer. L'appareil permet d'obtenir des résultats excellents dans le domaine submicronique.

MiniSeries - Broyeurs de laboratoire pour le développement de produit et la production de très petits lots

Les broyeurs compacts de laboratoire à circulation de la série MiniSérie impressionnent de par leur manipulation facile et le traitement de petits lots de 0,25 à 0,5 l pour des produits de taille allant jusqu’à l’échelle nanométrique. En peu de temps, il est possible de procéder à plusieurs essais avec une faible perte de produit et des résultats significatifs.


Broyage sec

Produits & Solutions dans le domaine du Broyage sec
s-Jet® Steam Jet Mill

Le s-Jet® System (brevet en cours) est une innovation dans une lignée de développements réguliers concernant le broyage à jets d’air. Des finesses finales dans la taille submicronique (exemple : d50 : 0,2 µm) peuvent maintenant être atteintes avec les broyeurs à jets d’air et lit fluidisé.

s-Jet® 25 Laboratory-Scale-Steam Jet Mill

Le s-Jet® System (brevet en cours) est une innovation dans une lignée de développements réguliers concernant le broyage à jets d’air. Des finesses finales dans la taille submicronique (exemple : d50 : 0,2 µm) peuvent maintenant être atteintes avec les broyeurs à jets d’air et lit fluidisé.


NETZSCH-Beads®

Produits & Solutions dans le domaine des billes NETZSCH-Beads®
ZetaBeads® Plus

Billes de broyage en oxyde de zirconium stabilisé (qualité finale)

ZetaBeads® Nano

Billes de broyage en oxyde de zirconium stabilisé Yttrium (haute qualité finale) pour applications nano.