반도체 평탄화용 연마제 (CMP)

현재까지 알려진 반도체 웨이퍼의 미세 평탄용 연마방식은 CMP공정(화학/기계연마)입니다. 이 공정에서는 연마제 슬러리가 사용 되어 지며 기계적으로 웨이퍼 표면을 절삭하는 효과와 절삭된 표면에 화학적 안정성을 부여하는 두 가지 기능을 합니다.

CMP용액의 입도 분포는 공정상에서 적절한 유동성을 얻기 위해 아주 세밀하고 균일한 입도 분포를 가져야 합니다. 가장 중요한 것은 스크래치에 의한 결함을 방지하기 위해 큰 입자를 제거하여 주는 것 입니다. 알루미나(Al2O3)또는 실리카(SiO2)를 기반으로 하는 CMP 슬러리는 네취 제타밀(Zeta® mills)을 사용함으로써 대용량 생산을 가능하게 합니다.


습식 분쇄

제품 소개 습식 분쇄
나노 밀 Zeta® RS

네취 나노 밀은 나노 미터 범위의 분쇄 ∙ 분산을 위해 특별히 개발된 설비입니다. 본 설비는 0.05 ~ 0.3mm범위의 그라인딩 비드를 전용으로 사용하며, 미소 비드 사용의 편의성을 고려한 혁신적인 기술의 설비입니다.

NETZSCH Alpha® - 차세대 아지테이터 비드밀

혁신적인 디자인의 차세대 아지테이터 비드밀 Alpha®를 소개합니다. 기존 시리즈와는 차별화된 새로운 Alpha® 시스템은 하나의 플랫폼에 업종별 특화된 분산기를 모두 적용, 동시에 생산 용량 변경도 가능하도록 설계되었습니다. 

Zeta® Type LMZ순환식 핀 타입 밀

네취의 순환식 핀 타입 밀은 모든 산업 분야 전반에 걸쳐 적용 가능한 설비입니다. 순환식 핀 타입 밀은 0.09 ~ 3.0mm 범위의 그라인딩 비드를 사용하여 점도에 제한 없이 거의 모든 제품에 사용할 수 있으며, 고품질 및 나노 범위의 제품 생산에 최적화 된 설비입니다.

실험실용 습식 분쇄 분산 장비LabStar

LabStar는 다양한 종류의 분산 원리를 적용이 가능하여 여러 용도의 제품을 얻는 데 용이합니다. 또한 과학적이고 분석적인 작업을 행할 수 있는 프로그램을 이용해 제품 개발에 필요한 최적의 조건을 얻을 수 있습니다. 본 설비는 제품 개발을 위한 실험실용 설비이며 동시에 생산용 설비로 정확하게scale-up을 할 수 있는 네취의 최소형의 설비입니다.

실험실용 습식 분쇄 분산 장비MiniZeta

실험실용 분쇄 및 분산 설비인 MiniZeta는 연구 개발을 위해 필수적인 장비입니다. 스테인레스 재질이 기본 사양이며 별도의 이송펌프 없이 원심력에 의한 자체 순환 방식으로 설비의 사용 및 세척이 매우 용이합니다. 서브 마이크론 단위의 제품 적용에 용이합니다.

MiniSeries - 연구 개발 및 소용량의 제품 생산을 위한 실험실용 분산장비

컴팩트하며 제품의 적용 범위가 다양한 실험실용 순환 밀MiniSeries는 장비의 사용이 매우 간단하고 나노 범위로의 분쇄 및 분산 공정을 위하여 0.25 – 0.5 L의 소량 제품 적용에 가능합니다. 짧은 공정 시간 내에 우수한 분쇄 및 분산 결과를 얻을 수 있으며, 테스트 시 제품의 손실이 적습니다.


건식 분쇄

제품 소개 건식 분쇄
s-Jet® Steam Jet Mill

s-Jet® 시스템은 현재까지 개발된 에어 제트밀 중에서 가장 혁신적이고 새로운 제품입니다. 지금까지 에어 제트밀에서 얻을 수 없었던 서브 마이크론 범위의 입도(예: 0.2 마이크론(d50))를 s-Jet® 시스템을 적용한 유동층 제트밀로 얻을 수 있습니다. 일반적인 에어 제트밀의 분쇄 방식과 달리 s-Jet® 시스템은 분쇄 매체로 고온의 스팀을 이용합니다.

s-Jet® 25 Laboratory-Scale-Steam Jet Mill

s-Jet® 시스템은 현재까지 개발된 에어 제트밀 중에서 가장 혁신적이고 새로운 제품입니다. 지금까지 에어 제트밀에서 얻을 수 없었던 서브 마이크론 범위의 입도(예: 0.2 마이크론(d50))를 s-Jet® 시스템을 적용한 유동층 제트밀로 얻을 수 있습니다. 일반적인 에어 제트밀의 분쇄 방식과 달리 s-Jet® 시스템은 분쇄 매체로 고온의 스팀을 이용합니다.


NETZSCH-Beads®

제품 소개 NETZSCH-Beads®
ZetaBeads® Plus

이트륨 안정화 지르코니아 그라인딩 비즈 (고품질용)

ZetaBeads® Nano

나노 제품을 위한 이트륨 안정화 지르코니아 비즈 (고품질용)