Polerowanie (CMP)

Jedyną znaną metodą precyzyjnego polerowania wafli krzemowych do produkcji układów scalonych jest proces CMP (chemiczno-mechaniczne polerowanie). W procesie tym, do obróbki materiału stosuje się środki polerskie w postaci zawiesin. Zawiesiny te oddziałują na polerowaną warstwę zarówno chemicznie jak i mechanicznie, ścierając powierzchnię płytki.

W celu uzyskania odpowiedniej płynności, uziarnienie stosowanych w tym procesie zawiesin musi być precyzyjnie określone. Kwestią o podstawowym znaczeniu jest wyeliminowanie wszelkiego nadziarna, tak, aby zapobiec wadom powstałym na skutek zarysowań. Zawiesiny CMP oparte na tlenku glinu lub krzemionce (SiO2) produkuje się na skalę przemysłową w młynach Zeta®.


Mielenie na mokro

Produkty & Rozwiązania w dziedzinie: Mielenie na mokro
Nanomłyn Zeta® RS

Specjalnie zaprojektowany do mielenia i dyspergowania do zakresu nanometrycznego. Jest to nowo opracowany wyrób, który łączy w sobie łatwość obsługi, rewolucyjną technologię maszynową i ergonomiczną konstrukcję.

The next Generation of Agitator Bead Mills

NETZSCH-Feinmahltechnik GmbH has now developed the new Alpha® modular machine platform. Compared to earlier-generation machines, this series is designed such that different grinding systems can be mounted on the same base platform as appropriate for a defined drive capacity.

System mielenia cyrkulacyjnego Zeta® typu LMZ

System mielenia cyrkulacyjnego do wszystkich obszarów zastosowań. Przydatność do wszelkich lepkości i niemal wszystkich produktów zostaje osiągnięta poprzez zastosowanie różnych mielników od 90 µm do 3 mm. Zapewnia to najwyższą jakość produktu i rozdrobnienie do skali nanometrycznej.

Laboratory agitator bead mill LabStar

The multi-functional laboratory mill LabStar enables scientific academic work even at difficult research and development tasks and convinces by easy handling. The laboratory mill LabStar is the smallest grinding unit of NETZSCH-Feinmahltechnik GmbH that enables an exact scale-up to comparable production machines.

Laboratory agitator bead mill MiniZeta

The universally applicable laboratory circulation mill MiniZeta is essential for research and development. Its easy operation, equipped with easy to clean tools of stainless steel, achieves the machine excellent results down to the Sub-Micron range.

MiniSeries - Laboratory Mills for Product Development and Production of Smallest Batches

The compact, universally applicable laboratory circulation mills of the MiniSeries impress with their easy handling when processing very small quantities from 0.25 to 0.5 l up to particle sizes in the nanometer range. It is possible to conduct many tests with low loss of product and significant results within a short period of time.


Mielenie na sucho

Produkty & Rozwiązania w dziedzinie: Mielenie na sucho
s-Jet® Steam Jet Mill

System s-Jet® (patent zgłoszony) jest nowym osiągnięciem na drodze konsekwentnego rozwoju technologii mielenia strumieniowo-fluidyzacyjnego. Przy pomocy młynów strumieniowo-fluidyzacyjnych można obecnie uzyskać rozdrobnienie końcowe w zakresie submikronowym (na przykład d50 0,2 µm). Odmiennie od konwencjonalnego procesu mielenia na sucho w młynie strumieniowo-fluidyzacyjnym system s-Jet® wykorzystuje przegrzaną parę jako gaz do mielenia.

s-Jet® 25 Laboratory-Scale-Steam Jet Mill

System s-Jet® (patent zgłoszony) jest nowym osiągnięciem na drodze konsekwentnego rozwoju technologii mielenia strumieniowo-fluidyzacyjnego. Przy pomocy młynów strumieniowo-fluidyzacyjnych można obecnie uzyskać rozdrobnienie końcowe w zakresie submikronowym (na przykład d50 0,2 µm). Odmiennie od konwencjonalnego procesu mielenia na sucho w młynie strumieniowo-fluidyzacyjnym system s-Jet® wykorzystuje przegrzaną parę jako gaz do mielenia.


Mielniki NETZSCH

Produkty & Rozwiązania w dziedzinie: Mielniki NETZSCH
ZetaBeads® Plus

Yttrium-stabilized zirconium oxide grinding beads (High-end quality)

ZetaBeads® Nano

Yttrium-stabilized zirconium oxide grinding beads (High-end quality) for nano applications