Полировка (CMP) - NETZSCH Измельчение и Диспергирование

Полировка (CMP)

Единственным известным методом тонкой полировки "вафель", пластин для производства электронных чипов, является процесс CMP (химико-механической полировки). В этом процессе суспензия полирующего агента используется для обработки материала. Эти суспензия оказывает как химическое воздействие на полируемый слой, так и механическое абразивное воздействие на поверхность пластины.

Распределение размеров частиц таких суспензий должно быть очень точно для достижения необходимой растекаемости и свойств агента. Первоочередной задачей является удаление крупных частиц для устранения дефектов от царапания. Суспензии для CMP обычно состоят из окиси алюминия или окиси кремния (SiO2) и могут быть получены в промышленных количествах на мельницах Zeta®.


Жидкое измельчение

Продукты & Решения в области Жидкое измельчение
Нано мельница Zeta® RS

Этам мельница специально разработана для получения наночастиц. Эта новая разработка сочетает в себе простоту обслуживания, революционные технологии и эргономичный дизайн.

The next Generation of Agitator Bead Mills

NETZSCH-Feinmahltechnik GmbH has now developed the new Alpha® modular machine platform. Compared to earlier-generation machines, this series is designed such that different grinding systems can be mounted on the same base platform as appropriate for a defined drive capacity.

Циркуляционная измельчающая система Zeta® тип LMZ

Циркуляционная измельчающая система позволяет решать любые задачи. Возможность работы с вязкими жидкостями и практически любыми продуктами обеспечивается за счет выбора бисера диаметром от 90 мкм до 3 мм. Эта возможность позволяет обеспечить высочайшее качество продукции и дисперсность помола вплоть до нанометрового диапазона.

Лабораторная бисерная мельница ЛабСтар

Многофункциональная лабораторная мельница LabStar позволяет справится с самыми сложными научными и исследовательскими задачами и традиционно проста в обслуживании. Лабораторная мельница LabStar - самая маленькая мельница, производимая NETZSCH-Файнмальтехник ГмбХ, тем не менее, позволяющая переносить результаты на промышленные установки.

Лабораторная бисерная мельница MiniZeta

Универсальная лабораторная циркуляционная мельница МиниЦета очень пригодится в исследовательских задачах и разработках. Простота в обслуживании, легкая чистка измельчающих инструментов изготовленных из нержавеющей стали обеспечивают легкую эксплуатацию и отличные результаты вплоть до субмикронного диапазона.

MiniSeries - Лабораторные мельницы для разработки и получения малых партий материалов

Компактная и универсальная циркуляционная мельница серии Мини обладает впечатляющей простотой обслуживания и позволяет обрабатывать объемы в 250-500 мл, получая частицы наноразмеров. На этих мельницах можно провести множество экспериментов по измельчению с минимальными потерями продукта и за весьма небольшое время.


Сухое измельчение

Продукты & Решения в области Сухое измельчение
s-Jet® Steam Jet Mill

Система s-Jet® это полностью новая разработка - результат нашей работы по развитию технологии струйного измельчения. Конечная тонина помола материала субмикронного диапазона (например: d50 0,2 мкм) теперь может быть получена на струйной мельнице. В отличие от традиционных струйных мельниц с кипящим слоем система s-Jet® использует для измельчения перегретый пар высокого давления.

s-Jet® 25 Laboratory-Scale-Steam Jet Mill

Система s-Jet® это полностью новая разработка - результат нашей работы по развитию технологии струйного измельчения. Конечная тонина помола материала субмикронного диапазона (например: d50 0,2 мкм) теперь может быть получена на струйной мельнице. В отличие от традиционных струйных мельниц с кипящим слоем система s-Jet® использует для измельчения перегретый пар высокого давления.


NETZSCH-Beads®

Продукты & Решения в области NETZSCH-Beads®
ZetaBeads® Plus

Yttrium-stabilized zirconium oxide grinding beads (High-end quality)

ZetaBeads® Nano

Yttrium-stabilized zirconium oxide grinding beads (High-end quality) for nano applications