Yonga üretimi için kullanılan yonga plakalarının ince polisajı için bilinen tek yöntem, CMP prosesidir (Chemical Mechanical Polishing - kimyasal mekanik polisaj). Bu proseste polisaj sağlayıcı süspansiyonlar malzemeyi işlemek için kullanılır. Bu süspansiyonların hem polisajı yapılan katmana kimyasal etkisi, hem de plakanın üzerine mekanik aşındırıcı etkisi vardır.
Bu süspansiyonların tane boyutu dağılımı, prosese akıcılık özelliğini uygun ayarda tutabilmek için kesin tanımlı olmalıdır. Tane boyutunu aşan her türlü parçanın giderilmesi, çizik gibi hataların önlenmesi için son derece önemlidir. Alüminyum ya da silikonlu (SiO2) bileşenler bazlı CMP hamurları endüstriyel boyutta ZETA değirmenlerinde üretilir.